普通的平面研磨機所 達到的工件表面粗糙度與加工精度，能夠保證工件操控在一定范圍，而精密研磨主要是依靠砂輪的精細修整，使得金剛石修整工具能夠以極小的并且有較為均勻的進 給，獲得一個等高微刃，在加工工件表面進行加工的表面劃痕較細，由于進行微切削，摩擦等綜合作用，能夠達到工件表面低粗糙度以及高精度要求，精密研磨加工 主要是依靠精密平面研磨機設備的精度進行保證。

　　超高精密加工是機械制造技術發展的支柱,已越來越得到重視和發展。在電子、光學儀器、航空、航天、機械、醫療器械及能源等工程領域中,超高精密加工這項工藝技術已是必不可少的手段,并且正在不的斷完善和提高,向加工精度的極限進軍。 超高精密加工技術,是從毫米級加工發展而來的。20世紀初比較高加工精度為0.01毫米,現在能達到0.002毫米或者更高。

　　超精密研磨的主要特點是高精密、高效率以及低成本，超精密平面研磨機進行加工，是目前所能夠達到比較低的研磨表面粗糙度以及比較高的加工精度的研磨方法。

　　超精密研磨加工主要是去除工件表面薄，采用較小的修整來進行砂輪修整，主要是依靠超細磨粒進行作用，超精密研磨要求去除振動以及保持恒溫的環境，這種超精密平面研磨加工帶有一定的拋光性質。