隨著各種超精密加工方法的提出,以及加工技術的不斷成熟,超精密加工已成為現代前列產業重要的生產技術,超精密加工正迎來一個繁榮的時代。超精密加工技 術,不僅要求高精度、高質量,而且要求低成本,要求高的再現性。研磨是一種重要的精密和超精密加工方法,其定義可以表述為:利用磨具通過磨料作用于工件表面,進行微量加工的過程。目前,用磨粒去除材料的去除單位已在納米甚至是亞納米數量級,在這種加工尺度內,加工氛圍的化學作用就不得不引進,并加以重視。 超精密研磨加工過程中的化學作用就成為其不可或缺的一部分。

　　納米級平面研磨已成為各種信息、光學等元件基片常用也是重要的加工方式。在傳統的研磨或拋光機上用硬質研磨盤或軟質拋光盤進行納米級平面研磨或拋光 時,由于盤面的變形和磨損會引起工件平面度惡化,因此,通常需憑工人的經驗頻繁地將研磨盤或拋光盤在標準平面上進行手工對研,以修正拋光盤面的變形,實現納米級的平面加工。為了盡可能降低對工人熟練程度的要求、減小工作量和避免人為因素對加工過程影響,從設計原理上提出了一種修正環型平面拋光加工方法 。基于這一方法,一種采用修正環在線修整拋光盤技術及科研者數據庫系統操控的智能型納米級拋光機被研制出。修正環在線修整技術可長期保證拋光盤平面精度,其科研者數據庫智能操控系統能實現拋光機的納米級和亞納米級的加工精度。