隨著各種超精密加工方法的提出,以及加工技術(shù)的不斷成熟,超精密加工已成為現(xiàn)代前列產(chǎn)業(yè)重要的生產(chǎn)技術(shù),超精密加工正迎來一個(gè)繁榮的時(shí)代。超精密加工技 術(shù),不僅要求高精度、高質(zhì)量,而且要求低成本,要求高的再現(xiàn)性。研磨是一種重要的精密和超精密加工方法,其定義可以表述為:利用磨具通過磨料作用于工件表面,進(jìn)行微量加工的過程。目前,用磨粒去除材料的去除單位已在納米甚至是亞納米數(shù)量級(jí),在這種加工尺度內(nèi),加工氛圍的化學(xué)作用就不得不引進(jìn),并加以重視。 超精密研磨加工過程中的化學(xué)作用就成為其不可或缺的一部分。

　　納米級(jí)平面研磨已成為各種信息、光學(xué)等元件基片常用也是重要的加工方式。在傳統(tǒng)的研磨或拋光機(jī)上用硬質(zhì)研磨盤或軟質(zhì)拋光盤進(jìn)行納米級(jí)平面研磨或拋光 時(shí),由于盤面的變形和磨損會(huì)引起工件平面度惡化,因此,通常需憑工人的經(jīng)驗(yàn)頻繁地將研磨盤或拋光盤在標(biāo)準(zhǔn)平面上進(jìn)行手工對(duì)研,以修正拋光盤面的變形,實(shí)現(xiàn)納米級(jí)的平面加工。為了盡可能降低對(duì)工人熟練程度的要求、減小工作量和避免人為因素對(duì)加工過程影響,從設(shè)計(jì)原理上提出了一種修正環(huán)型平面拋光加工方法 。基于這一方法,一種采用修正環(huán)在線修整拋光盤技術(shù)及科研者數(shù)據(jù)庫系統(tǒng)操控的智能型納米級(jí)拋光機(jī)被研制出。修正環(huán)在線修整技術(shù)可長期保證拋光盤平面精度,其科研者數(shù)據(jù)庫智能操控系統(tǒng)能實(shí)現(xiàn)拋光機(jī)的納米級(jí)和亞納米級(jí)的加工精度。