金屬材料的硬度在HV150以下者，用精細金剛石刀的顯微切片機切割，能夠得到平坦光滑的試樣表面。這對軟金屬材料的制樣是非常方便的。近年來在顯微切片機的基礎上，發展了顯微研磨機。很快就得到商業上的應用。顯微研磨機是把顯微切片機上的刀片，用研磨頭代替而制成的。研磨頭也是用金剛石或滲碳體制成的，直徑可達24.5mm，轉動磨削，研磨時金屬試樣表面溫度的增加小于1℃，也沒有磨料卷入試樣的表面。

　　顯微研磨是把磨光和拋光的操作合并為一步進行。與一般的金相制樣方法來比較，速度快，能夠得到清潔而高質量的表面，用正常明場照明看不到劃痕。浸蝕后也看不到有損傷缺陷的標志。與顯微切片制樣相比，顯微研磨也可以用于硬度高的材料。更明顯的點是，不同硬度的相，可以同樣的速度磨掉，沒有浮雕形成。鑄鐵中的石墨，鋼中的夾雜物，以及試樣的邊緣都能完好地保留。制備復合材料和硬質合金試樣，用此法比較好。